Уплотнительные прокладки соединений CF (conflat)

Каталог пассивной вакуумной арматуры (pdf, 4,25 Мb)

Каталог уплотнений для соединений CF (pdf, 345 Kb)

Медные прокладки CF используются во фланцевых соединениях CF (conflat). Соединения CF используются для изготовления сверхвысоковакуумных камер и магистралей (предельное остаточное давление до 10^-13 Торр) и могут применяться в широком диапазоне температур (от -200 ^оС до 450^оС). В состав соединения CF входят 2 идентичных по конструкции фланца CF (с одинаковым диаметром условного прохода), медная прокладка (толщиной 2 мм), комплект болтов и гаек (или монтажных планок).

Для того, чтобы обеспечить уплотнение, фланец CF имеет «клин». Медная прокладка располагается между одинаковыми «клиньями» двух фланцев CF и центрируется по внешнему диаметру проточкой, выполненной с внутренней стороны фланца CF. Соединение фланцев обеспечивается болтами. При затягивании болтов «клин» каждого из фланцев деформирует поверхность прокладки, обеспечивая герметичность соединения. Подробная информация о конструкции содинения - в каталоге вакуумной арматуры (стр.8-9) или справке по стандартам вакуумных соединений.

Соединения CF по большинству размеров соответствуют ГОСТ 26526-85 (также СТ СЭВ 4773-84) "Оборудование вакуумное. Соединения фланцевые для сверхвысоковакуумных систем. Конструкция, размеры и технические требования."

Прокладка фланцев CF, OFHC G-CFxx Прокладка фланцев CF, OFHC, отжиг G-CFxx-AN Прокладка фланцев CF, OFHC с покрытием G-AR-CFxx Прокладка фланцев CF, FKM (витон) G-FKM-CFxx

Прокладки соединений CF из OFHC

Прокладки соединений CF изготавливаются из бескислородной меди (OFHC - Oxygen Free High Conductivity; российский аналог - медь М00; Cu: 99,99%, содержание кислорода менее 0.001%). Если уплотняющий клин фланцев соединений CF не имеет дефектов, то герметичность уплотнения одинакова при использовании любой прокладки, изготовленной из меди OFHC (вне зависимости от того, подвергалась прокладка отжигу или нет).

Прокладки соединений CF из OFHC, отжиг

Отожженные прокладки легче деформируются при затяжке соединения CF (момент затяжки болтов меньше). Использование таких прокладок может оказаться полезным, если уплотняющий клин имеет незначительные дефекты (использование фланцев CF с дефектами клина не рекомендуется - вероятность возникновения течи достаточно высока).

Прокладки соединений CF из OFHC с покрытием

Если сверхвысоковакуумная система по каким-либо причинам часто подвергается высокотемпературному отжигу (~400°C), то вместо обычных прокладок CF рекомендуется использование прокладок с покрытием.

Прокладки соединений CF из витона

В качестве временных уплотнений, которые могут быть использованы при проверках высоковакуумной системы (например, на герметичность), применяются уплотнения из витона (FKM). Предельное остаточное давление и температурный диапазон, указанные выше, конечно не могут быть достигнуты с использованием уплотнений из FKM. Однако на этапе проведения испытаний/тестирования использование таких временных прокладок позволяет уменьшить расход уплотнений из OFHC.

Прокладки из меди OFHC используются только один раз, повторное использование не допускается.

Каталог пассивной вакуумной арматуры (pdf, 4,25 Мb)

Каталог уплотнений для соединений CF (pdf, 345 Kb)