Научно-производственная компания "АВАКС" | Вакуумное оборудование | Вакуумные системы

Компоненты установок

Предлагаем компоненты установок следующих типов

• Поможем побрать компоненты установок • Предложим лучшую цену • Рассмотрим варианты оплаты • Ответим на все вопросы по подключению и эксплуатации • Организуем доставку до Вашего города или предприятия • Гарантийные обязательства

таблица/список

Контроль
толщины

Магнетроны

Газовые
системы

ВЧ генераторы
и устройства
согласования

Блоки
управления
откачкой

Стабилизаторы
давления

Приводы

	Контроль толщины Предлагаем системы для контроля толщины покрытий, осаждаемых методами вакуумного напыления. Системы контроля толщины созданы на основе кварцевого резонатора, который располагается в вакуумной камере, и позволяют измерять толщину покрытий in situ, т.е. в процессе их осаждения. Принцип работы системы основан на изменении частоты колебаний кварцевого резонатора при изменении его массы (масса резонатора изменяется при осаждении на его поверхность распыляемого материала). Такой метод позволяет определять толщину покрытий с очень высокой точностью.
	Устройства магнетронного распыления Устройства магнетронного распыления (магнетроны) являются одним из наиболее удобных инструментов для изготовления покрытий различного назначения методами вакуумного напыления. Позволяют распылять металлические, диэлектрические и полупроводниковые мишени.
	Газовые системы Системы подачи рабочего газа (газовые системы) используются для подготовки и контролируемой подачи рабочих газов и их смесей в технологические установки установки напыления, отжига, выращивания кристаллов и эпитаксиальных слоев и другие).
	Высокочастотные генераторы и устройства согласования Радиочастотные генераторы в вакуумных приложениях используются для возбуждения плазмы в остаточной атмосфере или атмосфере газов, предварительно поданных в вакуумную камеру (при давлениях ниже атмосферного). Примерами технологических процессов, в которых используется плазма, являются высокочастотное магнетронное распыление диэлектрических мишеней, очистка поверхности подложек в плазме тлеющего разряда, ионно-плазменное и плазмохимическое травление и многие другие.
	Стабилизаторы давления Система поддержания заданного давления предназначена для обеспечения постоянной величины давления рабочего газа в вакуумной камере в течение технологического процесса.
	Приводы Устройства для перемещения карусели или планетарного механизма на основе шаговых двигателей, управляемых микроконтроллером.
	Блоки управления откачкой Блоки управления откачкой предназначены для управления откачными системами различного назначения. В зависимости от типа и исполнения могут управлять откачными системами, в состав которых входят вакуумные насосы разного типа, средства измерения остаточного давления, вакуумные клапаны и затворы. Могут использоваться как в качестве самостоятельных устройств, так и входить в состав систем управления технологическими процессами.