|
|
- Эффективное поддержание давления рабочего газа в автоматическом режиме для обеспечения стабильности технологических процессов;
- Возможность использования в отечественных установках типа УВН, УВР и др. с ручным приводом высоковакуумного затвора;
- Обеспечение стабильности скорости осаждения покрытий при использовании устройств магнетронного распыления;
- Простота монтажа;
- Удобство в эксплуатации;
- Высокая надежность
|
Общие сведения
Стабилизатор давления АВ6905 предназначен для поддержания постоянного давления рабочего газа в вакуумной камере установок с ручным приводом высоковакуумного затвора. Стабилизатор АВ6905 адаптирован для использования в широко распространенных отечественных установках типа УВН, УРМ и аналогичных. Заданное значение давления при работе системы обеспечивается за счет изменения скорости откачки, которая зависит от положения затвора, отсекающего вакуумную камеру от высоковакуумного насоса. Положение затвора регулируется исполнительным механизмом. Управление исполнительным механизмом осуществляет ПИД-регулятор, сравнивающий сигнал с вакуумметра, измеряющего давление в вакуумной камере, с величиной опорного сигнала, задаваемого оператором.
В состав комплекта поставки стабилизатора давления АВ6905 входит исполнительный механизм со схемой управления и ПИД-регулятор. Для эксплуатации стабилизатора давления необходим вакуумметр с манометрическим преобразователем, обеспечивающий измерение остаточного давления в рабочем диапазоне стабилизатора давления и имеющий аналоговый выход 0-10В. В качестве такого вакуумметра могут быть использованы, например, вакуумметры АВ3532, ВМБ-8, ВМБ-14 с преобразователем ПММ-32-1, смонтированным в вакуумной камере установки, а также активные датчики (манометрические преобразователи)Пирани, маниторазрядные или "full-range" . Эти компоненты и не входят в стандартный комплект поставки стабилизатора давления АВ6905. При отсутствии таких средств измерения у заказчика, они могут быть приобретены отдельно (более подробная информация приведена в разделе сайта Вакуумметры). Управление стабилизатором давления может также обеспечивать блок управления откачкой AB2107.
Монтаж исполнительного механизма стабилизатора давления АВ6905 осуществляется на передней панели установки непосредственно под рукояткой управления высоковакуумным затвором. Механическая связь между исполнительным механизмом и рукояткой управления высоковакуумным затвором обеспечивается специальным штоком, который для оперативного подключения или отключения исполнительного механизма выполнен легкосъемным.
Одной из наиболее эффективных областей применения стабилизатора давления АВ6905 - использование в составе систем магнетронного распыления.
Основные технические характеристики
| Параметр |
Стабилизатор давления АВ6905 |
| Назначение |
Поддержание заданной величины давления рабочего газа в вакуумной камере установок с ручным приводом высоковакуумного затвора |
| Состав комплекта |
Исполнительный механизм со схемой управления, ПИД-регулятор |
| Габаритные размеры (без штока) |
198 × 127 × 92 мм |
| Монтаж исполнительного механизма |
На передней панели установки |
| Величина рабочего хода штока |
≥ 20 мм |
| Рабочий диапазон давлений |
1×10-4 - 6×10-3 Торр |
| Стабильность поддержания давления |
Не хуже 2% |
| Точность поддержания давления |
Определяется классом точности используемого вакуумметра и ПИД регулятора |
| Напряжение питания |
220 В |
Стабилизаторы давления АВ6905 эксплуатируются совместно с вакуумметром или активным манометрическим преобразователем, которые имеют аналоговый выход 0-10 В.
|
давления
