|
|
- Эффективное поддержание давления рабочего газа в автоматическом режиме для обеспечения стабильности технологических процессов;
- Возможность использования в отечественных установках типа УВН, УВР и др. с ручным приводом высоковакуумного затвора;
- Обеспечение стабильности скорости осаждения покрытий при использовании устройств магнетронного распыления;
- Удобство в эксплуатации;
- Высокая надежность
|
Общие сведения
Устройство поддержания постоянного давления рабочего газа в вакуумной камере (стабилизатор давления) АВ6901 предназначен для поддержания постоянного давления рабочего газа в вакуумной камере установок с пневматическим приводом высоковакуумного затвора. Стабилизатор АВ6901 адаптирован для использования в широко распространенных отечественных установках типа УВН, УРМ и аналогичных. Заданное значение давления при работе системы обеспечивается за счет изменения скорости откачки, которая зависит от положения затвора, отсекающего вакуумную камеру от высоковакуумного насоса. Положение затвора регулируется исполнительным механизмом. Управление исполнительным механизмом осуществляет ПИД-регулятор, сравнивающий сигнал с вакуумметра, измеряющего давление в вакуумной камере, с величиной опорного сигнала, задаваемого оператором.
В состав комплекта поставки стабилизатора давления АВ6901 входит исполнительный механизм со схемой управления и блок управления с ПИД-регулятором. Для эксплуатации стабилизатора давления необходим вакуумметр с манометрическим преобразователем, обеспечивающий измерение остаточного давления в рабочем диапазоне стабилизатора давления и имеющий аналоговый выход 0-10В. В качестве такого вакуумметра могут быть использованы, например, вакуумметры АВ3532, ВМБ-8, ВМБ-14 с преобразователем ПММ-32-1, смонтированным в вакуумной камере установки, а также активные датчики (манометрические преобразователи) Пирани, маниторазрядные или "full-range" . Эти компоненты и не входят в стандартный комплект поставки стабилизатора давления АВ6901. При отсутствии таких средств измерения у заказчика, они могут быть приобретены отдельно (более подробная информация приведена в разделе сайта Вакуумметры). Управление стабилизатором давления может также обеспечивать блок управления откачкой AB2107.
Монтаж исполнительного механизма стабилизатора давления АВ6901 осуществляется на кронштейн крепления привода высоковакуумного затвора и станину установки с ее тыльной стороны. Механическая связь между исполнительным механизмом и штатным приводом управления высоковакуумным затвором обеспечивается системой штоков и тяг. При монтаже часть деталей привода высоковакуумного затвора установки заменяется на детали, входящие в комплект поставки.
В процессе эксплуатации все действия, необходимые для управления устройством, оператор производит с панели управления.
Одной из наиболее эффективных областей применения стабилизатора давления АВ6901 - использование в составе систем магнетронного распыления.
Основные технические характеристики
| Параметр |
Стабилизатор давления АВ6901 |
| Назначение |
Поддержание заданной величины давления рабочего газа в вакуумной камере установок с пневматическим приводом высоковакуумного затвора |
| Рабочий диапазон давлений |
1×10-4 - 5×10-3 Торр |
| Стабильность поддержания давления |
Не хуже 2% |
| Точность поддержания давления |
Определяется классом точности используемого вакуумметра
и ПИД регулятора |
| Габаритные размеры |
310 × 93 × 90 мм |
| Величина рабочего хода штока |
Не менее 38 мм |
| Монтаж исполнительного механизма |
На станине установки с тыльной стороны |
| Давление воздуха, необходимое для работы пневматических клапанов |
4-8 бар |
| Блок управления |
АВ2301 или АВ2302 |
| Напряжение питания |
220 В (50 Гц) |
| Время непрерывной работы в нормальных условиях |
Не ограничено |
Стабилизаторы давления АВ 6901 эксплуатируются совместно с вакуумметром или активным манометрическим преобразователем, которые имеют аналоговый выход 0-10 В.
|
давления
