Фланцы системы охлаждения магнетронов (семейство АВ7310)

Возможность использования в любых вакуумных установках, втом числе в серийном отечественном оборудовании для нанесения покрытий; Компактные размеры; Монтажное отверстие от 17 мм; Электрическая изоляция каналов системы охлаждения ; Простота и удобство монтажа; Возможность монтажа/демонтажа охлаждаемого устройства из вакуумной камеры вместе с фланцем.

Фланцы семейства АВ7300 используются для обеспечения подачи и слива жидкости, охлаждающей различные оснастку и устройства, расположенные внутри вакуумной камеры. В случае применения совместно с устройствами магнетронного распыления, такие фланцы обеспечивают вакуумно плотный монтаж вводов охлаждения этих устройств в отверстиях вакуумной камеры. Конструктивно фланцы семейства АВ7300 позволяют обеспечить вакуумно плотный монтаж двух вводов охлаждения диаметром 6 мм (подача охлаждающей жидкости и ее слив), что позволяет осуществлять демонтаж устройств из вакуумной камеры вместе с фланцем, упрощая как монтажные работы, так и обслуживание установок.

Для того, чтобы правильно подобрать именно тот фланец, который нужен для Вашей установки, нам необходима следующая информация:

• О диаметре монтажного отверстия;
• О толщине основания, стенки вакуумной камеры или фланца установки, через которые будет осуществляться подача и слив охлаждающей жидкости (т.е. в которых расположено можнтажное отверстие);
• Требования к электрической изоляции вводов охлаждения.

При необходимости по Вашему заказу могут быть разработаны и изготовлены нестандартные фланцы для обеспечения вакуумно плотного монтажа вводов охлаждения.