Терморезисторные (Пирани) активные датчики

Терморезисторные датчики - разновидность тепловых датчиков, принцип действия которых основан на зависимости теплопроводности газа от давления. Типичный диапазон измерений (1-5)×10^-4 ÷ 1×10² мбар. Типовая относительная погрешность ~ ±30%, при давлениях, близких к концу и началу диапазона может быть заметно выше. Так как для измерения давления используется эффект теплопроводности, терморезисторные датчики имеют заметную инерционность и измерения зависят от рода газа. Терморезисторные датчики - самые доступные по цене. В большинстве случаев используются в качестве средства технологического контроля (т.е. в случаях когда не нужно измерять давление остаточных газов с высокой точностью). Для того, чтобы существенно уменьшить погрешность измерения терморезисторного датчика при давлениях выше 1 Торр используют комбинированные датчики: Пирани/тензорезистивные.

Ссылки на дополнительную техническую информацию по датчикам приведены внизу страницы.

PON100 1×10-3 ÷ 1000 мбар Instrue

RSP230 1×10-3 ÷ 1000 мбар Instrue

WPI200 1×10-2 ÷ 1000 мбар Instrue

APG100-X 1×10-4 ÷ 1×103 мбар Edwards

TPR280 5×10-4 ÷ 1×103 мбар Pfeiffer Vacuum

сн TPR281 5×10-4 ÷ 1×103 мбар Pfeiffer Vacuum

APS 1×10-4 ÷ 1×103 мбар

APS10V, APS20i 1×10-4 ÷ 1×103 мбар

сн APC10 1×10-4 ÷ 1×103 мбар

PPT200 1×10-4 ÷ 1×103 мбар Pfeiffer Vacuum

TTR91, TTR91S 5×10-4 ÷ 1×103 мбар Pfeiffer / Leybold

сн TTR96S 1×10-4 ÷ 1×103 мбар Pfeiffer / Leybold

Блоки индикации (контроллеры)