Запорные клапаны с пневматическим приводом

Угловые тарельчатые клапаны – наиболее универсальный тип клапанов: они используются от низкого до сверхвысокого вакуума, имеют широкий диапазон диаметров условного прохода (до DN 250-320) и большое количество исполнений. Выпускаются с фланцами всех вакуумных стандартов (ISO-KF, ISO-K, ISO-F, CF). Присоединительные фланцы угловых клапанов расположены в перпендикулярных плоскостях. Угловые клапаны удобны, когда одновременно с установкой запорного элемента необходимо изменить направление вакуумной магистрали.

Линейные тарельчатые клапаны используются от низкого до сверхвысокого вакуума (в зависимости от уплотнения штока привода) и имеют большое количество исполнений. Выпускаются с фланцами всех вакуумных стандартов. Осевые линии присоединительных фланцев линейных клапанов расположены на одной линии (совпадают), поэтому монтируются в разрыв магистрали. Различают проходные линейные клапаны (поток газа не изменяет направления, проходя через клапан) и линейные клапаны Y- типа (фактически представляют собой угловые клапаны с измененным положением присоединительных патрубков, имеют меньшую пропускную способность).

Мембранные (диафрагменные) клапаны отличаются от клапанов других типов тем, что шток и механизм привода постоянно изолирован от вакуумных объемов (в отличие от тарельчатых клапанов). Запорным элементом диафрагменного клапана является подвижная мембрана, которая герметично зафиксирована по краям на корпусе клапана (.т.е одновременно выполняет функцию внешнего уплотнения). Мембрана может быть изготовлена из эластичного материала, тонкого металла или другого материала.
Мембранные вакуумные клапаны имеют небольшой диаметр условного прохода (до DN ~40). Из-за небольшого внутреннего объема и высокой степени герметичности широко используются также в системах подачи рабочих чистых и сверхчистых газов.

Дисковый клапан / затвор – оптимальное решение для вакуумных систем большого диаметра, рассчитанных на высокий, средний и низкий вакуум (в зависимости от конструкции клапана и уплотнения штока). За счет компактной и менее материалоемкой конструкции существенно дешевле шиберных затворов и тарельчатых клапанов больших диаметров. К достоинствам дисковых клапанов (затворов) относятся высокая проводимость, компактная конструкция корпуса, работоспособность при любых дифференциальных давлениях. Трехпозиционные пневматические дисковые затворы могут использоваться для дросселирования откачки.

Шаровые клапаны имеет простую конструкцию и используются в вакуумных системах, рассчитанных на низкий и средний вакуум. Запорным элементом клапана является шар или другое тело вращения с проходным отверстием и внешней полированной поверхностью. Запорный элемент размещается во внутренней полости корпуса клапана. Уплотнения, установленные в этой полости, находятся в контакте с внешней поверхностью запорного элемента, обеспечивая изоляцию вакуумных объемов друг от друга (при повороте запорного элемента на 90°). Шток клапана уплотняется FKM (витон) или PTFE (фторопласт).

Маятниковые клапаны / затворы применяются для магистралей с большим диаметром условного прохода (100 мм и более). Тарелка маятникового затвора может перемещаться по дуге окружности (центр окружности - ось вращения привода). В закрытом состоянии перекрывает магистраль, уплотнение обеспечивается эластомерным кольцом (прижимается к тарелке затвора). При открытии тарелка затвора перемещается в "карман" - специальную полость, полностью открывая проходное сечение магистрали. Могут иметь различные типы привода (электромеханический - электродвигателем, чаще всего шаговым) или пневматический. Основные достоинства - высокая (максимально возможная при выбранном DN) проводимость.

Шиберные клапаны / затворы могут использоваться от низкого до сверхвысокого вакуума (в зависимости от уплотнения штока привода). Выпускаются и для малых (от DN 25), и для больших диаметров условного прохода. Основные достоинства – высокая проводимость, малая протяженность вдоль магистрали, запорный элемент не выступает в магистраль в открытом состоянии (в отличие от дисковых клапанов).
Запорный элемент шиберных клапанов / затворов в открытом состоянии находится в специальной полости. Для изоляции вакуумных объемов запорный элемент на каретке перемещается приводом перпендикулярно плоскости потока по направлению к седлу и прижимается к нему под воздействием рычажного или иного механизма.

Щелевые клапаны / затворы - специализированная запорная арматура, предназначенная для изоляции загрузочной камеры от основной, используются в основном в полупроводниковой промышленности и разных отраслях научных исследований для загрузки / передачи подложек. По принципу действия схожи с шиберными затворами, однако часто выделяются в отдельный класс запорной арматуры.

В этом разделе собраны компоненты пневматики, необходимые для управления клапанами с пневматиическим приводом: фитинги, пилотные клапаны (пневмораспеделители), клапаны быстрого выхлопа, фильтры-регуляторы и другие аксессуары. Пользуясь материалами этого раздела можно заказать полный комплект системы управления вакуумными клапанами. При необходимости поможем подобрать необходимые компоненты.